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基於CCD的尺寸測量一般採用非接觸測量方式,由於CCD器件有精度高、動態性能好、便於同計算機組成高性能測控系統等特點,被廣氾的應用於各種加工件的在線檢測和高精度、高速度的檢測技術領域。 下面就幾種測量方案及誤差進行分析。 1、微小尺寸測量 當被測尺寸L<1mm时,如果采用通过光照,直接读出反映被测尺寸大小的电荷信号的测量方法,则产生很大的测量误差。光电测径仪采用小孔成像实像放大的方法进行测量,光电测径仪对0.1~10mm范围内的轧材测量精度可以达到0.003mm,实像微米级的外径尺寸在线测量。 2、一般尺寸测量 当被测工件尺寸L满足1mm 3、较大尺寸测量 当被测尺寸大于CCD感光面尺寸时,采用缩小成像测量法。测量原理与一般尺寸测量相同,由小孔成像法,实现被测尺寸缩小成像在CCD光敏面上,达到测量目的。 4、大尺寸测量 当被测工件尺寸足够大,可以采用边缘检测原理实现大尺寸测量的目的。边缘检测原理是采用两套CCD测量系统实现大尺寸工件边缘测量,然后将两套CCD测得的边缘位置与两CCD相对位置值综合起来,得出被测工件尺寸。通过改变两CCD之间的距离,来实现可变大尺寸测量。这种方法测量精度可以优于0.05mm。 以上即为CCD生产的光电测径仪提高测量精度的简单方法,能够有效的使得被测物的测量精度更高,减小测量误差,实现高精度的检测。
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